MOS junction based nanostructures by thermal oxidation of silicon wires for hydrogen detection

Tibuzzi, A.; Margesin, B.; Decarli, M.; DI NATALE, C.; Zen, M.; D'Amico, A.; Soncini, Giovanni

MOS junction based nanostructures by thermal oxidation of silicon wires for hydrogen detection

A. TIBUZZI;B. MARGESIN;M. DECARLI;C. DI NATALE;M. ZEN;A. D'AMICO;Soncini, Giovanni

2003-01-01

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	Anno di pubblicazione (Date of publication)
	
				2003
			
	Titolo del volume (Proceedings title)
	
				IEEE-NANO2003: 3rd Int. Conf. on Nanotechnologies, San Francisco, USA
			
	Tutti gli autori
	
						A., Tibuzzi; B., Margesin; M., Decarli; C., DI NATALE; M., Zen; A., D'Amico; Soncini, Giovanni
					
	Appare nelle tipologie:
	
				04.1 Saggio in atti di convegno (Paper in Proceedings)

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MOS junction based nanostructures by thermal oxidation of silicon wires for hydrogen detection

A. TIBUZZI;B. MARGESIN;M. DECARLI;C. DI NATALE;M. ZEN;A. D'AMICO;Soncini, Giovanni

2003-01-01

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