IRIS

B. Courtois et AL. Editors, Paris, France

Development of silicon microheaters for chemoresistive gas sensors

Soncini, Giovanni
1999-01-01

Abstract

B. Courtois et AL. Editors, Paris, France
1999
Proc. of SPIE, workshop on Design, Test and Microfabrication of MEMS/MOEMS
S., Brida; L., Ferrario; F., Giacomozzi; D., Giusti; Soncini, Giovanni
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