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Micromachined Silicon Radiation Sensors – Part 2: Fabrication Technologies / Bagolini, A.; Boscardin, M.; Conci, P.; Crivellari, M.; Giacomini, G.; Mattedi, F.; Piemonte, C.; Ronchin, S.; Zorzi, N.; Benkechkache, M. A.; Dalla Betta, Gian Franco; Mendicino, Roberto; Pancheri, Lucio; Povoli, Marco; Sultan, D M S. - ELETTRONICO. - (2015). (Intervento presentato al convegno AISEM 2015 tenutosi a Trento, Italia nel 3-5 Febbraio 2015).

Micromachined Silicon Radiation Sensors – Part 2: Fabrication Technologies

Dalla Betta, Gian Franco;Mendicino, Roberto;Pancheri, Lucio;Povoli, Marco;Sultan, D M S
2015-01-01
2015
Proceedings of 2015 XVIII AISEM Annual Conference
Piscataway, NJ, USA
IEEE
978-1-4799-8591-3
2-s2.0-84937142323
Bagolini, A.; Boscardin, M.; Conci, P.; Crivellari, M.; Giacomini, G.; Mattedi, F.; Piemonte, C.; Ronchin, S.; Zorzi, N.; Benkechkache, M. A.; Dalla Betta, Gian Franco; Mendicino, Roberto; Pancheri, Lucio; Povoli, Marco; Sultan, D M S
Micromachined Silicon Radiation Sensors – Part 2: Fabrication Technologies / Bagolini, A.; Boscardin, M.; Conci, P.; Crivellari, M.; Giacomini, G.; Mattedi, F.; Piemonte, C.; Ronchin, S.; Zorzi, N.; Benkechkache, M. A.; Dalla Betta, Gian Franco; Mendicino, Roberto; Pancheri, Lucio; Povoli, Marco; Sultan, D M S. - ELETTRONICO. - (2015). (Intervento presentato al convegno AISEM 2015 tenutosi a Trento, Italia nel 3-5 Febbraio 2015).
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