JOURNAL OF MICRO/NANOLITHOGRAPHY, MEMS, AND MOEMS

Informazioni generali
	Titolo
	
					JOURNAL OF MICRO/NANOLITHOGRAPHY, MEMS, AND MOEMS
				
	Cris ID
	
					journal35572
				
	Codice ANCE
	
					E196631
				
	Nazione
	
					US
				
	ISSN
	
					1932-5150
				
	Lingua
	
	Tipo
	
Rivista

	Editore
	
					Bellingham, WA : SPIE-The International Society for Optical Engineering, c2007-
				
	Anno di inizio
	
					2007
				
	Anno di fine
	
	Policy dell'editore per PRE-PRINT
	
					can
				
	Restrizioni dell'editore per PRE-PRINT
	
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	Presente in DOAJ
	
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