JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B: MICROELECTRONICS PROCESSING AND PHENOMENA

Informazioni generali
	Titolo
	
					JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B: MICROELECTRONICS PROCESSING AND PHENOMENA
				
	Cris ID
	
					journal34361
				
	Codice ANCE
	
					E094972
				
	Nazione
	
					US
				
	ISSN
	
					0734-211X
				
	Lingua
	
					English
				
	Tipo
	
Rivista

	Editore
	
					Slack Incorporated:6900 Grove Road:Thorofare, NJ 08086:(800)257-8290, (856)848-1000, EMAIL: customerservice@slackinc.com, INTERNET: http://www.slackinc.com, Fax: (856)853-5991
				
	Anno di inizio
	
					1983
				
	Anno di fine
	
					1990
				
	Policy dell'editore per PRE-PRINT
	
					can
				
	Restrizioni dell'editore per PRE-PRINT
	
	Policy dell'editore per POST-PRINT
	
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