JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B: MICROELECTRONICS PROCESSING AND PHENOMENA

Informazioni generali
	Titolo
	
			JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B: MICROELECTRONICS PROCESSING AND PHENOMENA	  	
			
	Cris ID
	
			journal34361	  	
			
	Codice ANCE
	
			E094972	  	
			
	Nazione
	
			US	  	
			
	ISSN
	
			0734-211X	  	
			
	Lingua
	
			English	  	
			
	Tipo
	
Rivista

	Editore
	
			Slack Incorporated:6900 Grove Road:Thorofare, NJ 08086:(800)257-8290, (856)848-1000, EMAIL: customerservice@slackinc.com, INTERNET: http://www.slackinc.com, Fax: (856)853-5991	  	
			
	Anno di inizio
	
			1983	  	
			
	Anno di fine
	
			1990	  	
			
	Policy dell'editore per PRE-PRINT
	
			can	  	
			
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