A novel Monte Carlo simulation code for linewidth measurement incritical dimension scanning electron microscopy

Dapor, Maurizio;
2010-01-01

2010
Proc. of SPIE
Michael T. Postek, Dale E. Newbury, S. Frank Platek, David C. Joy
Monterey, California, USA
SPIE
A., Koschik; M., Ciappa; S., Holzer; Dapor, Maurizio; W., Fichtner
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