Symmetric toggle switch: a new type of rf MEMS switch for telecommunication applications: design and fabrication

Rangra, Kamaljit;ZEN, MARIO;Soncini, Giovanni;
2005-01-01

2005
Rangra, Kamaljit; B., Margesin; L., Lorenzelli; F., Giacomozzi; C., Collini; Zen, Mario; Soncini, Giovanni; L., Del Tin; R., Gaddi
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