Comparative study of anneal-induced modifications of amorphous carbon films deposited by dc-magnetron sputtering at different plasma pressures

Mariotto, Gino;
2000-01-01

2000
L. G., Jacobsohn; R., Prioli; F., Freire Lazaro; Mariotto, Gino; M. M., Macerda; Y. W., Chung
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