Process stress estimation for MEMS RF switches with capacitive test structures

Armaroli, Cristiana;ZEN, MARIO;Soncini, Giovanni
2003-01-01

2003
International Conference on Microelectronic Test Structures (ICMTS)
IEEE
L., Ferrario; Armaroli, Cristiana; B., Margesin; Zen, Mario; Soncini, Giovanni
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