IRIS

Cr/Ni/Au multilayer films for high temperature MEMS applications

Soncini, Giovanni;ZEN, MARIO
2002-01-01
2002
8th International Workshop on Thermal Investigations of ICs and Systems
TIMA
V., Guarnieri; R., Pal; A., Bagolini; V., Micheli; M., Filippi; M., Decarli; F., Moscon; F., Giacomozzi; B., Margesin; Soncini, Giovanni; Zen, Mario
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