Dry transfer bonding of porous silicon membranes to OSTE(+) polymer microfluidic devices

Bettotti, Paolo;Kumar, Neeraj;
2012-01-01

2012
2012 IEEE 25th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)
Parigi
IEEE
9781467303248
9781467303255
F., Saharil; K. B., Gylfason; Y., Liu; T., Haraldsson; Bettotti, Paolo; Kumar, Neeraj; W., van der Wijngaart
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