Depth profiling of defects in He implanted SiO2

Mariazzi, Sebastiano;Toniutti, Laura;Brusa, Roberto Sennen;
2008-01-01

2008
5
Mariazzi, Sebastiano; Toniutti, Laura; Brusa, Roberto Sennen; M., Duarte Naia; A., Karbowski; G. P., Karwasz
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