IRIS

Stress and interfacial defects induced by amorphous carbon film growth on silicon

Mariazzi, Sebastiano;Zecca, Antonio;Karwasz, Grzegorz;Brusa, Roberto Sennen;Bartali, Ruben;Anderle, Mariano
2005-01-01
2005
DIAMOND AND RELATED MATERIALS
3-7
Macchi, C.; Mariazzi, Sebastiano; Zecca, Antonio; Karwasz, Grzegorz; Brusa, Roberto Sennen; Laidani, N.; Bartali, Ruben; Gottardi, G.; Anderle, Mariano
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